Pat

J-GLOBAL ID：200903090733269183

マイクロ波プラズマ生成装置

Inventor： 古川 雅一
Applicant, Patent owner： キヤノン販売株式会社 ,  キヤノン株式会社
Agent (1)： 伊東 哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997028268
Publication number (International publication number)：1998214699
Application date： Jan. 29, 1997
Publication date： Aug. 11, 1998
Summary：

【要約】【課題】 中心部にプラズマ密度の高い箇所が集中することのない、マイクロ波プラズマ生成装置を提供する。【解決手段】 石英等の誘電体材で構成したマイクロ波の導入窓4を有するマイクロ波プラズマ生成装置において、導入窓のマイクロ波導入側表面に生じる電解強度12に対応させて導入窓の板厚分布を変化させる。板厚分布の変化は、生成されるプラズマの濃度が導入窓の板面方向に均一となるように行ったり、生成されるプラズマの濃度が導入窓の板面方向にみて導入窓の周辺部において高くなるように行うことができる。

Claim (excerpt)：

石英等の誘電体材で構成したマイクロ波の導入窓を有するマイクロ波プラズマ生成装置において、導入窓のマイクロ波導入側表面に生じる電解強度に対応させて導入窓の板厚分布を変化させたことを特徴とするマイクロ波プラズマ生成装置。

IPC (3)：

H05H 1/46 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065

FI (3)：

H05H 1/46 B ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302 B