荷電粒子線装置の収差補正方法および荷電粒子線装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：永井冬紀
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998019780
Publication number (International publication number)：1999219678
Application date： Jan. 30, 1998
Publication date： Aug. 10, 1999
Summary：

【要約】【課題】動的補正器の取り付け位置を調整し直すのは困難である。【解決手段】 3個の焦点補正コイル9および3個の非点補正器10から成る動的補正系を備え、偏向量の2乗および3乗に比例する3次収差や偏向量の2〜5乗に比例する5次収差を補正するように焦点補正コイル9および非点補正器10の各励磁電流を制御装置16により調整することにより、焦点補正コイル9や非点補正器10の取り付け位置を設定し直さなくとも、3次収差や5次収差を低減することができる。

Claim (excerpt)：

荷電粒子線の偏向量の2乗および3乗に比例する3次収差と偏向量の2〜5乗に比例する5次収差とを、焦点補正コイルおよび非点補正器で構成される動的補正系により補正する荷電粒子線装置であって、補正すべき収差に関する焦点補正コイルおよび非点補正器の各々の個数を、各種の収差とそれらを補正するために必要な焦点補正コイルおよび非点補正器の数との関係を示す表1に基づいて決定し、前記動的補正系を構成する焦点補正コイルおよび非点補正器の各々の個数を前記表1に基づいて決定された個数以上としたことを特徴とする荷電粒子線装置。【表1】

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開昭62-281246
特開平3-295140
特開平3-289035

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