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J-GLOBAL ID:200903090773669958
金-錫合金めつき液
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
佐伯 憲生
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994216465
Publication number (International publication number):1996053790
Application date: Aug. 09, 1994
Publication date: Feb. 27, 1996
Summary:
【要約】【構成】本発明は金-錫合金めっき液において、錫源として有機酸の錫塩を用いることを特徴とする金-錫合金めっき液に関する。本発明の好ましい金-錫合金めっき液としては、シアン化第一金カリウム、有機スルホン酸の錫塩からなるものが挙げられ、これにpH緩衝成分、安定化材、酸化防止剤、錯化剤などを加え、溶液のpHが好ましくは3.0から9.0である金-錫合金めっき液を挙げることができる。【効果】めっき作業において常時一定の組成をもつ合金皮膜を得ることができる。被めっき材のレジストを損傷することなく、微細パターンを形成することができる。
Claim (excerpt):
金-錫合金めっき液において、錫源として錫の有機酸塩を用いることを特徴とする金-錫合金めっき液。
IPC (3):
C25D 3/56
, H01L 21/52
, H01L 23/02
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (18)
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特公昭46-019523
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特開昭57-005887
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特開昭55-073887
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特開昭57-005886
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特開昭52-081032
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特開昭50-131821
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特開昭61-015992
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特開昭59-211562
-
特開昭61-223194
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特開昭57-161081
-
特開昭53-084829
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特開昭56-136994
-
特開昭61-194194
-
特開平2-254194
-
特開昭56-116895
-
特開昭55-107795
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特開昭53-034637
-
特開昭56-075593
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