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J-GLOBAL ID：200903090778695329
内周刃ダイヤモンド砥石
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
内山 充
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992307683
Publication number (International publication number)：1994126639
Application date： Oct. 21, 1992
Publication date： May. 10, 1994
Summary：
【要約】【構成】基体上にダイヤモンド状炭素膜を被覆して成る内周刃ダイヤモンド砥石。【効果】切り粉の付着が抑制されるとともに、ウエハーなどの加工物のそり、かけ、加工変質層などを減少させ、かつ二硫化モリブデンなどの潤滑剤が不要な寿命の長い内周刃ダイヤモンド砥石である。
Claim (excerpt)：
基体上にダイヤモンド状炭素膜を被覆して成る内周刃ダイヤモンド砥石。
IPC (3)：
B24D 5/12
, B24D 3/00 310
, B24D 5/00
