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J-GLOBAL ID：200903090822616598

光走査装置用ミラー

Inventor： 柴田 浩匡
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 立石 篤司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995047787
Publication number (International publication number)：1996220463
Application date： Feb. 13, 1995
Publication date： Aug. 30, 1996
Summary：

【要約】【目的】 十分な強度(剛性)を確保しつつ揺動時の慣性モーメントを低減させる。【構成】 反射面16Aと一致した軸心Dを有する揺動軸20を有し、当該揺動軸20を中心として所定角度範囲で揺動するミラー本体14を備えている。また、このミラー本体14の反射面16Aの裏面側には複数の中空部が設けられている。このため、中空部の分だけ軽量化を図ることができ、必要以上に剛性(強度)が低下しない程度の中空部を設けるようにすれば、十分な強度を確保しつつ、高速揺動時の負荷、即ち慣性モーメントの低減を図ることができる。

Claim (excerpt)：

反射面と平行な揺動軸を有し、当該揺動軸を中心として所定角度範囲で揺動するミラー本体を備えた光走査装置用ミラーにおいて、前記ミラー本体の前記反射面の裏面側に複数の中空部が設けられたことを特徴とする光走査装置用ミラー。