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J-GLOBAL ID：200903090823274240

カンチレバーの製造方法

Inventor： 小野里 陽正 ,  村山 健 ,  白井 隆 ,  森本 高史 ,  黒田 浩史
Applicant, Patent owner： 日立建機株式会社
Agent (1)： 田宮 寛祉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997230228
Publication number (International publication number)：1999064351
Application date： Aug. 12, 1997
Publication date： Mar. 05, 1999
Summary：

【要約】【課題】 薄膜圧電体を備えるカンチレバーの製造方法で、シリコン基板をエッチングするとき、エッチング液がカンチレバーの背面に回り込んでも薄膜圧電体の部分を保護でき、さらに高い電圧や温度を加えることなく製造できるカンチレバーの製造方法を提供する。【解決手段】 シリコン基板11の表面に、下部電極14と上部電極17で挟まれた薄膜圧電体15をレバー部分13の背面に備えたカンチレバー18を製造する方法であり、上記薄膜圧電体を上部電極で覆うことによって、シリコン基板をエッチングするとき上部電極で薄膜圧電体を保護する。上部電極を薄膜圧電体の保護部材として利用し、シリコン基板のエッチング時にエッチング液がシリコン基板の表面側に回りこんでも、上部電極が薄膜圧電体が除去されるのを防止する。

Claim (excerpt)：

シリコン基板の表面に、下部電極と上部電極で挟まれた薄膜圧電体をレバー部分の背面に備えたカンチレバーを製造する方法において、前記薄膜圧電体を前記上部電極で覆い、前記シリコン基板をエッチングするとき前記上部電極で前記薄膜圧電体を保護することを特徴とするカンチレバーの製造方法。

IPC (5)：

G01N 37/00 ,  C30B 29/06 ,  C30B 33/08 ,  G01B 21/30 ,  H01J 37/28

FI (5)：

G01N 37/00 G ,  C30B 29/06 B ,  C30B 33/08 ,  G01B 21/30 Z ,  H01J 37/28 Z