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J-GLOBAL ID：200903090841388849

レジスト組成物

Inventor： 尾家 正行 ,  田中 秀行 ,  阿部 信紀 ,  三沢 真理
Applicant, Patent owner： 日本ゼオン株式会社
Agent (1)： 西川 繁明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993312669
Publication number (International publication number)：1995092678
Application date： Nov. 18, 1993
Publication date： Apr. 07, 1995
Summary：

【要約】【目的】感度、解像度、耐エッチング性、保存安定性、及びプロセス余裕度などのレジスト特性に優れたレジスト材料を提供すること。【構成】(A)活性光線の照射により酸を生成可能な化合物、(B)酸に対して不安定な基を持つ構造単位を有し、かつ、化合物(A)に由来する酸の存在下に該基が開裂してアルカリ可溶性となる重合体、及び(C)アミノ化合物を含有することを特徴とするレジスト組成物。

Claim (excerpt)：

(A)活性光線の照射により酸を生成可能な化合物、(B)酸に対して不安定な基を持つ構造単位を有し、かつ、化合物(A)に由来する酸の存在下に該基が開裂してアルカリ可溶性となる重合体、及び(C)アミノ化合物を含有することを特徴とするレジスト組成物。

IPC (6)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/023 511 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/033 ,  H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (13)

• 特開平2-161436
  
• 特開平1-033546
  
• 特開平3-289658
  
• 放射感受性の組成物及び方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-304792   Applicant：シツプリイ・カンパニイ・インコーポレイテツド
• レジスト材料
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-285775   Applicant：日本電気株式会社
• 感放射線性樹脂組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-073169   Applicant：日本合成ゴム株式会社
• 感放射線性組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-209404   Applicant：日本合成ゴム株式会社
• 感放射線性樹脂組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-116722   Applicant：日本合成ゴム株式会社
• ポジ型化学増幅系レジスト
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-344419   Applicant：日本合成ゴム株式会社
• ポジ型レジスト材料
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-077419   Applicant：日本電信電話株式会社
• 感光性組成物及びそれを用いたパターン形成方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-079113   Applicant：株式会社東芝
• 感放射線性樹脂組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-217744   Applicant：株式会社東芝
• 特開昭63-149640