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J-GLOBAL ID:200903090880977878

加速度センサ

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 高橋 明夫 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992029143
Publication number (International publication number):1993223842
Application date: Feb. 17, 1992
Publication date: Sep. 03, 1993
Summary:
【要約】【目的】 センサの小形化、その部品間の電気接続部の信頼性及び温度特性の向上を図る。【構成】 回路基板12に実装する部品として、加速度検出素子たるゲージ部1と、ゲージ部1からの信号を処理する電子回路部(ICチップ)11とを備え、ゲージ部1の上に電子回路部11を重ねる構造とした。ゲージ部1と電子回路部11との接続は、ワイヤボンディング、半田、導電性接着剤などで行う。
Claim (excerpt):
加速度検出素子であるゲージ部と、前記ゲージ部の電気信号を処理する電子回路部とを備えた加速度センサにおいて、前記ゲージ部の上にIC(集積回路)チップ化された前記電子回路部を重ねた構造としたことを特徴とする加速度センサ。
IPC (2):
G01P 15/08 ,  H01L 29/84

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