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J-GLOBAL ID：200903090884707867
露光装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小鍜治 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993014035
Publication number (International publication number)：1994232026
Application date： Jan. 29, 1993
Publication date： Aug. 19, 1994
Summary：
【要約】【目的】 周囲環境の変動の影響を受けにくい安定かつ高精度な、第1物体上のパターンを第2物体上に投影露光する露光装置を実現することを目的とする。【構成】 第1物体のパターンを第2物体に投影露光するための露光装置であって、第1物体および/または第2物体の位置合わせを行うための位置合わせ装置を有し、この位置合わせ装置は、振動数の異なる2つのコヒーレント光で第1物体および/または第2物体の少なくとも1つの第1のマーク部を照明することによって得られる光信号から、第1物体と第2物体の位置を計測する検出精度が相対的に高い精密アライメント系を有し、この精密アライメント系において、振動数の異なる2つのコヒーレント光が実質的に同一光路を通過する露光装置である。このような構成により、高安定かつ位置合わせ精度の高い位置合わせ装置を有した露光装置を提供できる。
Claim (excerpt)：
第1物体のパターンを第2物体に投影露光するための露光装置であって、前記露光装置は、前記第1物体および/または第2物体の位置合わせを行うための位置合わせ装置を有し、前記位置合わせ装置は、振動数の異なる2つのコヒーレント光で前記第1物体および/または第2物体の少なくとも1つの第1のマーク部を照明することによって得られる光信号から、前記第1物体および第2物体の相対的位置、または前記第1物体および/または第2物体の絶対位置を計測する検出精度が相対的に高い精密アライメント系を有し、前記精密アライメント系において、前記振動数の異なる2つのコヒーレント光が実質的に同一光路を通過する露光装置。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (9)
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