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J-GLOBAL ID：200903090889722430
非接触表面形状測定方法及び装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
松浦 憲三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996138043
Publication number (International publication number)：1997318329
Application date： May. 31, 1996
Publication date： Dec. 12, 1997
Summary：
【要約】【課題】白色光干渉計を利用して被測定面の形状を測定する際に、被測定面までの距離の変化に応じて得られる干渉縞強度データの処理内容を簡易化し、高速高精度の測定を可能にする非接触表面形状測定方法及び装置を提供する。【解決手段】白色光ランプ12から出射された光をハーフミラー16で分割し、一方をワークWに、他方を参照鏡18に照射する。ワークWからの反射光(測定光)と参照鏡18からの反射光(参照光)とはハーフミラー16によって重畳され、光路長差に応じた干渉縞が発生する。参照鏡18を電歪素子20によって所定のピッチで変位させ、得られた干渉縞をカメラ26で撮像する。ワークW内の点(x,y)について各測定位置における干渉縞強度の変化量を差分値として求め、この離散的な干渉縞強度の差分値データから差分値が最大となるピーク位置を加重平均により求め、点(x,y)のZ方向の高さに対応付ける。
Claim (excerpt)：
スペクトル幅の広い光源を使用し、前記光源から被測定対象面までの第1の光路長と、前記光源から参照面までの第2の光路長との光路長差に応じて干渉縞を発生させ、前記干渉縞の強度に基づいて被測定対象面の凹凸形状を測定する非接触表面形状測定方法において、前記被測定対象面又は前記参照面を光軸方向に所定の距離だけ変位させる第1の工程と、前記第1の工程により移動した前記被測定対象面又は参照面の位置を前記被測定対象面の高さ方向の検査位置として検出する第2の工程と、前記第1の工程によって形成された光学配置により発生する干渉縞を撮像する第3の工程と、前記第3の工程で得られた干渉縞の画像データを基に、前記被測定対象面内の各点毎に干渉縞強度を検出する第4の工程と、前記被測定対象面内の各点について、前記第1から第4の工程を繰り返して得られる2つの干渉縞強度から各検査位置毎に干渉縞強度の差分値を求める第5の工程と、第5の工程で求めた各検査位置毎の差分値データから、差分値の絶対値を重みとする加重平均を算出し、差分値の絶対値が最大となるピーク位置を求める第6の工程と、第6の工程で求めたピーク位置に基づいて、被測定対象面の形状を測定する第7の工程と、からなることを特徴とする非接触表面形状測定方法。
IPC (2)：
FI (2)：
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