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J-GLOBAL ID：200903090892883526

照明光学装置

Inventor： 森 孝司
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992047409
Publication number (International publication number)：1993251308
Application date： Mar. 05, 1992
Publication date： Sep. 28, 1993
Summary：

【要約】【目的】輪帯状の2次的光源を何ら遮光することなく形成し、高い照明効率のもとで被照射面を均一に傾斜照明できる高性能な照明光学装置を提供することを目的としている。【構成】光源手段とオプティカルインテグレータとの光路間に、ほぼ平行な光束を輪帯状光束に変換する輪帯状光束変換手段を設け、その輪帯状光束変換手段は、円錐状屈折面を有する構成とした。

Claim (excerpt)：

ほぼ平行光束を供給する光源手段と、該光源手段からの平行光束によって複数の2次的な光源を形成するオプティカルインテグレータと、該オプティカルインテグレータによって形成された複数の2次的な光源からの光束を集光して被照射面を重畳的に照明するコンデンサーレンズとを有する照明光学装置において、前記光源手段と前記オプティカルインテグレータとの光路間に、ほぼ平行な光束を輪帯状光束に変換する輪帯状光束変換手段を設け、該輪帯状光束変換手段は、円錐状屈折面を持つ光学部材を有する特徴とする照明光学装置。

IPC (4)：

H01L 21/027 ,  G02B 27/00 ,  G03B 27/32 ,  G03F 7/20 521

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

• 特開平3-252122
  
• 特開平3-011614
  
• 特開平2-003907