Pat

J-GLOBAL ID：200903090914591079

座標測定機用ロータリテーブルの校正方法

Inventor： 中俣 透 ,  福井 豊治
Applicant, Patent owner： 株式会社東京精密
Agent (1)： 松浦 憲三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993040069
Publication number (International publication number)：1994249641
Application date： Mar. 01, 1993
Publication date： Sep. 09, 1994
Summary：

【要約】【目的】 被測定物の固定用治具を除去せずに、ロータリテーブルを高精度に校正することを目的とする。【構成】 ロータリテーブル50の回転中心近傍に設けられた第1の基準球56の回転中心O4 を求め、次に、第1の基準球56と高さの異なる第2の基準球58の回転中心O5 を求める。そして、求められた2つの回転中心O4 、O5 のいずれか一方をロータリテーブル50の回転中心と設定し、かつ、2つの回転中心O4 、O5 を通る直線の傾きをロータリテーブルの傾きV3 として記憶する。次いで、ロータリテーブル50上にワークの固定治具54を回避して設けられた基準球52の回転中心O6 を予め求めて記憶する。そして、周囲の温度環境の変化等でロータリテーブルの新たな校正が必要となった時、基準球52の新たな回転中心O7 を求めて、予め求められた基準球52の回転中心O6 と新たな回転中心O7 との座標差を求め、求めた座標差でロータリテーブル50の回転中心を補正する。

Claim (excerpt)：

三軸方向に移動自在なプローブが設けられると共に測定テーブルにロータリテーブルが設けられた座標測定機用ロータリテーブルの校正方法において、ロータリテーブルを回転して、ロータリテーブルの回転中心近傍に設けられた第1の基準球の回転中心を求め、ロータリテーブルを回転して、ロータリテーブルの回転中心近傍に設けられた第1の基準球と高さの異なる第2の基準球の回転中心を求め、第1、第2の基準球の回転中心のいずれか一方をロータリテーブルの回転中心と設定し、かつ、第1、第2の基準球の回転中心を通る直線の傾きをロータリテーブルの傾きと設定し、ロータリテーブルを回転して、ロータリテーブル上に被測定物の固定治具を回避して設けられた第3の基準球の回転中心を予め求め、周囲の温度環境の変化等で、ロータリテーブルの新たな校正が必要となった時、新たにロータリテーブルを回転して、ロータリテーブル上に被測定物の固定治具を回避して設けられた第3の基準球の新たな回転中心を求め、前記予め求められた第3の基準球の回転中心と第3の基準球の新たな回転中心との座標差を求め、該求められた座標差で前記求めたロータリテーブルの回転中心を補正して新たなロータリテーブルの回転中心を求め、前記求めたロータリテーブルの傾き及び新たに求めたロータリテーブルの回転中心を被測定物測定時のロータリテーブルの校正用データとすることを特徴とする座標測定機用ロータリテーブルの校正方法。

IPC (3)：

G01B 21/00 ,  G01B 5/00 ,  G01B 5/25