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J-GLOBAL ID：200903090948591892

電子線照射装置

Inventor： 西藤 睦
Applicant, Patent owner： 株式会社荏原製作所
Agent (1)： 渡邉 勇 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992286930
Publication number (International publication number)：1994118200
Application date： Oct. 01, 1992
Publication date： Apr. 28, 1994
Summary：

【要約】【目的】 走査管から出る電子線を偏向手段によって照射量を均一にするとともにウィンドウ部において失われるエネルギーを低減することができ、更にこのウィンドウ部で発生する熱量の低減を図ることができる電子線照射装置を提供する。【構成】 走査管5を備えた電子線照射装置において、走査管5内で電子線6を偏向させ走査管5のウィンドウ7に垂直に電子線6を入射させるための偏向手段を設け、また、偏向手段はウィンドウ7に隣接して設置された磁界発生装置9,10からなる。

Claim (excerpt)：

走査管を備えた電子線照射装置において、前記走査管内で電子線を偏向させ走査管のウィンドウに垂直に電子線を入射させるための偏向手段を設けたことを特徴とする電子線照射装置。

IPC (2)：

G21K 5/04 ,  H01J 37/30