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J-GLOBAL ID：200903090952607477
収納空間の清浄化方法及びその装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
吉嶺 桂 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997330855
Publication number (International publication number)：1999147051
Application date： Nov. 17, 1997
Publication date： Jun. 02, 1999
Summary：
【要約】【課題】 基材や基板に対する汚染を効果的に防止することができる収納空間の清浄化方法と装置を提供する。【解決手段】 基材又は基板2が収納される収納空間Bと、該収納空間に清浄気体を送る紫外線5を光源として用いる清浄化手段Aとを有する収納空間の清浄化装置において、該収納空間内に該空間内の気体の対流による流れを促進するための仕切り板14と、前記清浄化手段として、光電子11による粒子状物質の荷電・捕集部、光触媒4によるガス状汚染物質の除去部、又は紫外線照射による除電部の内の1種類以上の手段、又は、これらとイオン交換繊維によるガス状汚染物質の除去部を組合せた手段とを備えることとしたものである。
Claim (excerpt)：
紫外線を光源として用いる清浄化手段を有する基材又は基板が収納される収納空間の清浄化方法において、該収納空間内に該空間内の気体の対流による流れを促進するための誘導手段を設けることを特徴とする収納空間の清浄化方法。
IPC (5)：
B03C 3/43
, B03C 3/02
, B03C 3/36
, H01L 21/68
, B65D 88/74
B03C 3/43
, B03C 3/02 B
, B03C 3/36 A
, H01L 21/68 T
, B65D 88/74
