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J-GLOBAL ID：200903090963321508

液晶表示装置の製造方法

Inventor： 飯 塚 哲 也
Applicant, Patent owner： 東芝電子エンジニアリング株式会社 ,  株式会社東芝
Agent (1)： 佐藤 一雄 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998011336
Publication number (International publication number)：1999212075
Application date： Jan. 23, 1998
Publication date： Aug. 06, 1999
Summary：

【要約】【課題】 簡易な製造工程でブラックマトリクスとスペーサとを形成できる液晶表示装置の製造方法を提供する。【解決手段】 ガラス基板1上に、カラーフィルタ用の着色層3を色ごとに分離して形成した後、基板上面にネガ型の黒色レジスト4を塗布する。次に、フォトリソグラフィにより、ブラックマトリクス6と柱状スペーサ7とを同一工程で形成する。具体的には、着色層3をマスクとして、ガラス基板1の下面側から光を照射し、着色層3の形成されていない部分を感光させる。また、フォトマスク5をガラス基板1の上面側に配置してその上方から光を照射し、TFT アレイ基板内の信号線等に対向する位置付近のレジストを一部感光させる。その後、現像およびエッチングを行って柱状スペーサ7と自己整合構造のブラックマトリクス6を同一工程で形成する。

Claim (excerpt)：

カラーフィルタが形成される第1の基板と、信号線層および走査線層が形成される第2の基板とを、前記第1の基板と前記第2の基板との少なくとも一方に形成された柱状スペーサを介して張り合わせて、両基板間に液晶を注入して形成される液晶表示装置の製造方法において、前記第1の基板は、透明絶縁基板の上面に、カラーフィルタ用の着色層を、色ごとに分離して形成する工程と、前記着色層の上面に、ブラックマトリクスおよび前記スペーサの材料となるネガ型感光膜を形成する工程と、前記ネガ型感光膜の上面側から光を照射して、フォトリソグラフィにより前記着色層の形成されている部分の前記ネガ型感光膜の一部を感光して前記スペーサを形成し、かつ、前記透明絶縁基板の下面側から光を照射して、フォトリソグラフィにより前記着色層の形成されていない部分の前記ネガ型感光膜を感光し、自己整合構造の前記ブラックマトリクスを形成する工程と、を経て形成されることを特徴とする液晶表示装置の製造方法。

IPC (3)：

G02F 1/1335 505 ,  G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1339 500

FI (3)：

G02F 1/1335 505 ,  G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1339 500