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J-GLOBAL ID：200903090963976784

イオンビーム中性化装置

Inventor： 田原 英明 ,  松原 克夫
Applicant, Patent owner： 日新電機株式会社
Agent (1)： 谷川 昌夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991206047
Publication number (International publication number)：1993047338
Application date： Aug. 16, 1991
Publication date： Feb. 26, 1993
Summary：

【要約】【目的】 酸素ガス等の活性ガス雰囲気中でも長時間安定して作動する信頼性の高いイオンビーム中性化装置を提供する。【構成】 ガス導入口35及び電子放出用開口36を有するマイクロ波放電室30と、マイクロ波放電室30にマイクロ波電力を導入するためのアンテナ33と、マイクロ波放電室30に生成されるマイクロ波プラズマ37から電子を放出させるためのバイアス電源38とを備えたイオンビーム中性化装置。

Claim (excerpt)：

ガス導入口及び電子放出用開口を有するマイクロ波放電室と、前記マイクロ波放電室にマイクロ波電力を導入するための手段と、前記マイクロ波放電室に生成されるマイクロ波プラズマからの電子放出を制御するための電圧印加手段とを備えたことを特徴とするイオンビーム中性化装置。

IPC (4)：

H01J 37/30 ,  C23C 14/48 ,  H01J 37/06 ,  H01L 21/265

FI (2)：

H01L 21/265 D ,  H01L 21/265 N