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J-GLOBAL ID：200903090995648509

ポジ型感光性組成物

Inventor： 河辺 保雅 ,  佐藤 健一郎 ,  青合 利明
Applicant, Patent owner： 富士写真フイルム株式会社
Agent (1)： 萩野 平 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998056924
Publication number (International publication number)：1999258804
Application date： Mar. 09, 1998
Publication date： Sep. 24, 1999
Summary：

【要約】【課題】 ポジ型感光性組成物において、深紫外線、特にArFエキシマレーザー光に対して高い感度を有し、解像力、レジストプロファイルが優れるとともに、十分なドライエッチング耐性を備え、かつクラックの発生や基板からの剥離が起こらないレジストパターンを形成することが可能で、且つ標準現像液(2.38%TMAH水溶液)適性を備えること。【解決手段】 活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物及び特定の構造の2価の多環型の脂環式単位を重合体の主鎖に有する樹脂を含有するポジ型感光性組成物

Claim (excerpt)：

(A)活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、及び(B)下記一般式(I)で表される2価の多環型の脂環式単位を重合体の主鎖に有する樹脂を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。【化1】(上記一般式(I)において、Xは、酸素原子、硫黄原子、-NH-、-NHSO2 -又は-NH-SO2 -NH-から選ばれる2価の結合基を表す。R1 は水素原子、アルキル基、置換アルキル基、環状アルキル基、置換環状アルキル基、酸の作用により分解する基または-Y-R3 を表す。Yは単結合、アルキレン基、置換アルキレン基、エーテル基、カルボニル基、エステル基、アミド基、スルホンアミド基から選択される単独、あるいは2つ以上の基の組み合わた2価の基を表す。R2 は水素原子又はメチル基を表す。R3 は-COOH、-COOR4 、水酸基、アルキル基、置換アルキル基、アルコキシ基、置換アルコキシ基又は、【化2】を表す。R19〜R26は、各々独立に水素原子、アルキル基又は置換アルキル基を表し、a、bは、1又は2を表す。R4 はアルキル基、置換アルキル基、環状アルキル基、置換環状アルキル基を表す。)

IPC (3)：

G03F 7/039 601 ,  C08F 32/06 ,  H01L 21/027

FI (3)：

G03F 7/039 601 ,  C08F 32/06 ,  H01L 21/30 502 R