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J-GLOBAL ID：200903091016837904

イオン源装置

Inventor： 田中 尚人
Applicant, Patent owner： 東京エレクトロン株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992032772
Publication number (International publication number)：1994176724
Application date： Jan. 23, 1992
Publication date： Jun. 24, 1994
Summary：

【要約】【目的】 本発明は、安定したイオン発生を行うことができ、メンテナンスを容易に行うことができるイオン源装置を提供する。【構成】 プラズマを発生する部材とイオンを出力する電極を設けたイオン源装置において、一体的に締付け機構を具備してなることを特徴とするイオン源装置と、電子生成室に係合する保持部材と、この保持部材に対して着脱可能に係合する固定部により、固定保持されるように構成されたイオン源装置であって、弾性手段により、上記電子生成室と保持部材を保持することができるように構成したことを特徴とするイオン源装置である。

Claim (excerpt)：

プラズマを発生する部材とイオンを出力する電極を設けたイオン源装置において一体的に締付け機構を具備してなることを特徴とするイオン源装置。

IPC (5)：

H01J 37/08 ,  H01J 37/15 ,  H01J 37/317 ,  H01L 21/265 ,  H01J 37/067