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J-GLOBAL ID：200903091029080462
位置合わせ装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
富田 和子
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992119244
Publication number (International publication number)：1993313380
Application date： May. 12, 1992
Publication date： Nov. 26, 1993
Summary：
【要約】【目的】マスクの影に隠れて読み取れない基板上の位置合わせ用マークの中心位置を求め、マスクと基板の位置合わせを行う。【構成】マスク10、基板11上の位置合わせ用マーク10a〜10d、11a〜11dをCCDカメラ13a〜13dで読み取り、画像処理装置15、コンピュータ17で処理し、各位置合わせ用マークの中心位置を求める。もし、位置合わせ用マーク11cがマスク10の影となって読み取れない場合は、中心位置11bを中心とし、位置合わせ用マーク11bと11cとの間の中心間距離r2を半径とする円と、11dを中心とし、位置合わせ用マーク11dと11cとの間の中心間距離r1を半径とする円の交点を求め、位置合わせ用マーク11cの中心位置とする。そして、マスク10の各位置合わせ用マークの中心位置と基板11の各位置合わせ用マークの中心位置がそれぞれ一致するように移動テーブル12を制御盤19を介して駆動して位置合わせを行う。
Claim (excerpt)：
所定の位置関係をもって4個所に配置された光透過孔を有する第1の被処理物と、前記第1の被処理物と平行に配置した、前記各光透過孔間の位置関係と同じ位置関係を持って4個所に配置された位置合わせ用マークを有する第2の被処理物と、の間の位置合わせを行う位置合わせ装置であって、前記第1の被処理物を前記第2の被処理物の反対側より撮影し、かつ、前記第1の被処理物の前記各光透過孔を介して前記第2の被処理物を撮影するカメラと、撮影された前記4個所の光透過孔の中心位置と、前記4個所の光透過孔を介して撮影された前記第2の被処理物の位置合わせ用マークの中心位置を算出する画像処理手段と、前記カメラによって、前記4個所の光透過孔を介して、前記第2の被処理物の2または3個の位置合わせ用マークのみが撮影された場合に、撮影されなかった位置合わせ用マークの中心位置を、撮影された各位置合わせ用マークの中心位置と前記各位置合わせ用マーク間の位置関係より決定する手段と、前記4個所の光透過孔の中心位置と前記第2の被処理物の4個の位置合わせ用マークの中心位置が一致するように、前記第1の被処理物と第2の被処理物を相対的に移動する手段とを有することを特徴とする位置合わせ装置。
IPC (2)：
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