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J-GLOBAL ID：200903091035687697

荷電ビーム描画装置

Inventor： 島津 信生 ,  斎藤 賢一
Applicant, Patent owner： 日本電信電話株式会社
Agent (1)： 山川 政樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995159063
Publication number (International publication number)：1997007538
Application date： Jun. 26, 1995
Publication date： Jan. 10, 1997
Summary：

【要約】【目的】 クーロン効果を低減して大ビーム電流を得る。【構成】 熱電界を放出する電子銃10と、この電子銃10のクロスオーバ11から試料面に向かう荷電ビーム12,13を複数の荷電ビームに分割,偏向および結像するマルチ荷電ビーム光学系と、電子銃10のクロスオーバ11から発生した荷電ビームが試料22面に向かう領域において分割された複数の荷電ビームを再び全体として一つのクロスオーバを形成させることなく試料面22面上に加速,投影させる荷電ビーム光学系とを有して構成されている。

Claim (excerpt)：

熱電界を放出する電子銃と、前記電子銃のクロスオーバから試料面に向かう荷電ビームを複数の荷電ビームに分割,偏向および結像するマルチ荷電ビーム光学系と、前記電子銃のクロスオーバから発生した荷電ビームが試料面に向かう領域において前記分割された複数の荷電ビームを前記試料面上に加速,投影させる荷電ビーム光学系と、を有することを特徴とする荷電ビーム描画装置。

IPC (2)：

H01J 37/305 ,  H01L 21/027

FI (3)：

H01J 37/305 A ,  H01L 21/30 541 B ,  H01L 21/30 541 Q