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J-GLOBAL ID：200903091045187048

硬化型組成物

Inventor： 五十嵐 一郎 ,  水谷 邦彦
Applicant, Patent owner： 東亞合成株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999302618
Publication number (International publication number)：2001125264
Application date： Oct. 25, 1999
Publication date： May. 11, 2001
Summary：

【要約】【課題】 高温下の2次エッチングにおいても硬化膜が耐エッチング性、アルカリ溶解・剥離性及びパターン形成性等に優れるエッチングレジスト用硬化型組成物の提供。【解決手段】 下記化合物(a)および化合物(b)を主構成成分とするエッチングレジスト用硬化型組成物〔但し、イソシアヌル酸のアルキレンオキサイド付加物のトリ(メタ)アクリレートを含有するものを除く〕。(a)1分子中に1個のカルボキシル基と1個の(メタ)アクリロイル基を有する化合物(b)炭素数9〜12個のアルキレン基の両末端に水酸基を有する2価アルコールのジ(メタ)アクリレート

Claim (excerpt)：

下記化合物(a)および化合物(b)を主構成成分とするエッチングレジスト用硬化型組成物〔但し、イソシアヌル酸のアルキレンオキサイド付加物のトリ(メタ)アクリレートを含有するものを除く〕。(a)1分子中に1個のカルボキシル基と1個の(メタ)アクリロイル基を有する化合物(b)炭素数9〜12個のアルキレン基の両末端に水酸基を有する2価アルコールのジ(メタ)アクリレート

IPC (3)：

G03F 7/027 502 ,  G03F 7/004 501 ,  H01J 9/14

FI (3)：

G03F 7/027 502 ,  G03F 7/004 501 ,  H01J 9/14 G