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J-GLOBAL ID：200903091045575960

窒化アルミニウム焼結体の製造方法

Inventor： 沼田 吉彦 ,  山本 玲緒
Applicant, Patent owner： 徳山曹達株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991249558
Publication number (International publication number)：1993090436
Application date： Sep. 27, 1991
Publication date： Apr. 09, 1993
Summary：

【要約】【目的】高融点金属を導電層とする窒化アルミニウム焼結体の製造において、該導電層と窒化アルミニウム焼結体との密着が良好で、更に該導電層の表面へのメッキの密着強度も高い上記窒化アルミニウム焼結体の製造方法を提供する。【構成】窒化アルミニウム、焼結助剤及び有機結合剤よりなる成形体表面に、平均粒径0.8〜5μmの高融点金属粉末100重量部及び窒化アルミニウム2〜10重量部よりなる導電ペーストの層を形成した導電ペースト積層成形体を、例えば、加湿した還元ガス雰囲気下で、700〜1200°C温度での高度な脱脂を行うことにより、残炭率を2000ppm以下とした後、1400〜2100°Cの非酸化性雰囲気下で焼結する。

Claim (excerpt)：

窒化アルミニウム、焼結助剤及び有機結合剤よりなる成形体表面に、平均粒径0.8〜5μmの高融点金属粉末100重量部及び窒化アルミニウム2〜10重量部よりなる導電ペーストの層を形成した導電ペースト積層成形体を残炭率が2000ppm以下となるように脱脂した後、焼結することを特徴とする導電層を有する窒化アルミニウム焼結体の製造方法。

IPC (4)：

H01L 23/12 ,  H05K 1/09 ,  H05K 3/12 ,  H05K 3/38