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J-GLOBAL ID：200903091065297745

荷電粒子線装置

Inventor： 清水 弘泰
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993112884
Publication number (International publication number)：1994325719
Application date： May. 14, 1993
Publication date： Nov. 25, 1994
Summary：

【要約】【目的】 効率良く2次電子を検出する事のできる荷電粒子線装置を得る。【構成】 上極(2b)の内径より下極(2a)の内径を大きくすると共に、上極(2b)と下極(2a)との間のギャップが下方を向いている電磁レンズ(対物レンズ)2の上方に二次電子検出用の電極(5)を設けて、試料(3)から得られた二次電子を電磁レンズ(2)の開口を通して検出すると共に、収束型の静電レンズ(7...7A、7B、7C)を、電極(5)より下方でかつその少くとも一部が下極(2a)より上方にあるように、上極(2b)の付近に設けた走査型の荷電粒子線装置である。

Claim (excerpt)：

上極の内径より下極の内径を大きくすると共に、上極と下極との間のギャップが下方を向いている電磁レンズから構成された対物レンズ又は、上極と下極との間に試料を設置できる電磁レンズから構成されたインレンズ型対物レンズを有し、前記電磁レンズの上方に二次電子検出用の電極を設けて、試料から得られた二次電子を前記電磁レンズの開口を通して検出する走査型の荷電粒子線装置において、収束型の静電レンズを、前記電極より下方でかつその少なくとも一部が前記下極より上方にあるように、前記上極の付近に設けたことを特徴とする荷電粒子線装置。

IPC (4)：

H01J 37/244 ,  H01J 37/12 ,  H01J 37/141 ,  H01J 37/28