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J-GLOBAL ID:200903091093713185

炭素薄膜の製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 藤井 信行
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994111152
Publication number (International publication number):1995315987
Application date: May. 25, 1994
Publication date: Dec. 05, 1995
Summary:
【要約】【目的】 従来の方法では炭素薄膜を簡易に膜厚、結晶配向を分子レベルで制御した炭素材料を大量に製造することは困難であった。本発明は分子レベルで構造制御が可能な炭素及び黒鉛薄膜を製造することを目的とする。【構成】 層状粘土鉱物に、カチオン基を有する重合物をイオン交換を用いて導入し、重合物の炭素化を行う熱処理を施した後、前記層状粘土鉱物を酸或はアルカリ処理によって抽出することを特徴とするものである。
Claim (excerpt):
層状粘土鉱物に、カチオン基を有する重合物をイオン交換を用いて導入し、重合物の炭素化を行う熱処理を施した後、前記層状粘土鉱物を酸或はアルカリ処理によって抽出することを特徴とする炭素薄膜の製造方法。
IPC (6):
C30B 29/02 ,  C01B 31/02 101 ,  C01B 31/04 101 ,  C23C 20/06 ,  C30B 29/68 ,  C30B 33/02
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
  • 特開平1-141813
  • 特開昭61-201606
  • 特開平1-141813
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