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J-GLOBAL ID：200903091130615776

電界効果トランジスタ、及びその製造方法

Inventor： 酒井 将行
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 早瀬 憲一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993071380
Publication number (International publication number)：1994283553
Application date： Mar. 30, 1993
Publication date： Oct. 07, 1994
Summary：

【要約】【目的】 ドレイン端の高電界領域で発生した正孔がソース側に蓄積するのを抑制し、ドレイン耐圧を向上させる。【構成】 電界効果型トランジスタのソース側の高濃度n型層3aのまわりをP型層19で囲み、高濃度P層18を介して接地する。これにより、ドレイン側で発生した正孔がソース側に蓄積することによりソース側の基板内の電界を弱め、一方、その高濃度正孔領域15がドレイン側5にのびることによってドレイン側5での電界を強めてブレークダウンする、ということを抑制する。【効果】 ゲート・ドレイン耐圧より、ドレイン・ソース耐圧が問題となるプレーナ型のFETにおいて、ドレイン・ソース耐圧の向上を図ることができる。

Claim (excerpt)：

化合物半導体基板上に形成された第1導電形チャネル層上に金属-半導体接合をゲート電極として有する電界効果トランジスタにおいて、ソース領域を形成する高濃度第1導電形不純物層と、該ソース領域不純物層上に形成されたソース電極と、該ソース領域不純物層の下側、及び外側に、これを取り囲むように形成された第2導電形不純物層と、上記第2導電形不純物層の上記ソース領域不純物層の外側に形成された第2導電形高濃度不純物層と、該第2導電形高濃度不純物層上に形成され、これとオーミックコンタクトをとる第2導電形層用電極とを備え、上記ソース電極と、上記第2導電形層用電極とは、ともに接地されていることを特徴とする電界効果トランジスタ。

IPC (4)：

H01L 21/338 ,  H01L 29/812 ,  H01L 21/28 301 ,  H01L 29/62

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平4-005833
  
• 特開平4-368134
  
• 特開昭61-267369