シリコン単結晶引上げ装置の熱遮蔽部材

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：須田正義
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999051442
Publication number (International publication number)：2000247776
Application date： Feb. 26, 1999
Publication date： Sep. 12, 2000
Summary：

【要約】【課題】シリコン融液から引上げ中のシリコン単結晶棒の外周部の急激な温度低下を阻止し、シリコン単結晶棒中の熱的ストレスの発生を抑制する。【解決手段】チャンバ11内に設けられた石英るつぼ13にシリコン融液12が貯留され、シリコン融液12から引上げられるシリコン単結晶棒25の外周面を包囲しかつ下端がシリコン融液12表面から間隔をあけて上方に位置する筒部37を有する熱遮蔽部材36が設けられる。筒部37の下部には膨出部41が設けられ、膨出部は、筒部の下縁に接続されシリコン単結晶棒の外周面近傍に達するリング状の底壁42と、シリコン単結晶棒の外周面と所定の間隔をあけて底壁の内縁に連設された筒状の縦壁44と、縦壁の上縁に連設され上方に向うに従って直径が大きくなるように形成され上縁が筒部の内周面に当接する上壁46とにより構成される。膨出部の内部には蓄熱部材47が充填される。

Claim (excerpt)：

石英るつぼ(13)に貯留されたシリコン融液(12)からシリコン単結晶棒(25)を引上げる装置に設けられ、前記シリコン単結晶棒(25)の外周面を包囲しかつ下端が前記シリコン融液(12)表面から間隔をあけて上方に位置しヒータ(18)からの輻射熱を遮る筒部(37)を有する熱遮蔽部材において、前記筒部(37)の下部に筒内の方向に膨出する膨出部(41)が設けられ、前記膨出部(41)は、筒部(37)の下縁に接続され水平に延びてシリコン単結晶棒(25)の外周面近傍に達するリング状の底壁(42)と、前記シリコン単結晶棒(25)の軸心線に対して平行に又は-30度以上+30度以下の角度で傾斜して延びかつ前記シリコン単結晶棒(25)の外周面と所定の間隔をあけて前記底壁(42)の内縁に連設された筒状の縦壁(44)と、前記縦壁(44)の上縁に連設され上方に向うに従って直径が大きくなるように形成され上縁が前記筒部(37)の内周面に当接するコーン状の上壁(46)とにより構成され、前記筒部(37)の下部と前記底壁(42)と縦壁(44)と上壁とにより囲まれる前記膨出部(41)の内部に蓄熱部材(47)が充填されたことを特徴とするシリコン単結晶引上げ装置の熱遮蔽部材。

IPC (2)：

C30B 15/00 , C30B 15/14

FI (2)：

C30B 15/00 Z , C30B 15/14

F-Term (11)：

4G077AA02 , 4G077BA04 , 4G077CF00 , 4G077EG02 , 4G077EG18 , 4G077EG19 , 4G077FK18 , 4G077HA12 , 4G077PA00 , 4G077PE22 , 4G077PE27

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

単結晶引上装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-288209 Applicant：東芝セラミックス株式会社
単結晶製造装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-061980 Applicant：コマツ電子金属株式会社
特開昭63-315589

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