透過型X線ビームモニター方法およびモニター装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (2)：石井康夫 (外2名) , 石井康夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994114950
Publication number (International publication number)：1995318657
Application date： May. 27, 1994
Publication date： Dec. 08, 1995
Summary：

【要約】【目的】 X線ビームのモニターと利用が同時にでき、また、ビームの断面形状にも影響を及ぼすことなく、小径のビームもモニターすることができる透過型X線ビームモニター装置を提供する。【構成】モニター板2は、X線ビーム1の入射方向からみて、左側の表側に光電膜4が、右側の裏側に光電膜5が設けられている。それぞれの光電膜4,5を見込む2次電子増倍管6a,6bが表側,裏側に配置されている。X線ビーム1が透過するモニター板2の表面あるいは裏面から放出された微弱な電子電流は、2次電子増倍管6a,6bに入射され、増幅された出力電流は、エレクトロメータ8a,8bで測定される。測定された電流値の合計値からビームの強度を、また、電流値の差から、ビームの左右への変位を測定することができる。

Claim (excerpt)：

X線透過性の基板の表側および裏側にX線を吸収して電子を放出する光電効果を有する光電膜を同一でない範囲に設けたモニター板を用い、該モニター板にX線を入射させ、該モニター板から放出される電子の電流をモニター板の表裏を区別して測定することを特徴とする透過型X線ビームモニター方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (12)

特開昭63-238580
特開平1-199188
特開平4-022852

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