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J-GLOBAL ID：200903091243240515

光学走査ヘツドによつて縁部及び孔を検出する方法及び装置

Inventor： クラウス-ペー・コツホ ,  ラルフ・ペーター
Applicant, Patent owner： カール・ツアイス
Agent (1)： 山川 政樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992080245
Publication number (International publication number)：1993099617
Application date： Mar. 03, 1992
Publication date： Apr. 23, 1993
Summary：

【要約】【目的】 工作物の輪郭だけでなく、その縁部及び孔の位置を正確に測定する。しかもそれを極く簡単な光学ヘッドで行う。【構成】 縁部及び孔を検出するために、放射出力が一定である光学走査ヘッド4を工作物の表面の上で走らせ、走査ヘッド4の距離信号と共に、工作物5から散乱して戻る放射の強さを検出して、記憶する。そこで、縁部や孔の領域で工作物の表面の座標と共に同時に導き出される強さ測定値によって、強さの経過の急激な変動から縁部や孔の位置座標を確定する。

Claim (excerpt)：

光束を放射し、工作物(5)の上にできる放射点の位置又は形態から導き出される、工作物までの距離に対応する信号を供給する光学走査ヘッド(4)によって縁部及び孔を検出する方法において,-走査ヘッド(4)は座標測定装置の測定アーム(3)に固定されており、その測定アームにより、測定すべき工作物(5)の表面の上をあらかじめ規定できる経路(s)に沿って案内され,-走査される工作物の表面の座標(X,Y,Z)を光学走査ヘッドの距離測定値(Z′)と、座標測定装置の経路信号(X0,Y0,Z0) とから検出して、記憶し,-工作物(5)から散乱して戻り、走査ヘッド(4)が受取った放射の強さ(I)又は走査ヘッド(4)が発射した放射の強さを座標(X,Y,Z)に関連させてさらに検出し、その強さ値I(X,Y,Z) を同様に記憶し,-測定した座標(X,Y,Z)に関わる強さ値(I)の変化をコンピュータで、縁部又は孔の位置座標(XK,YK,ZK) が強さ値(I)の急激な変化から確定されるように解析する方法。

IPC (2)：

G01B 11/00 ,  G01M 17/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 特開昭63-243709
  
• 特開平2-300617
  
• 特開昭59-154308
  
• 特開昭64-044806
  
• 特開平1-174907