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J-GLOBAL ID：200903091262060544

半導体および類似デバイスの検査システム

Inventor： 水野 文夫
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999049624
Publication number (International publication number)：2000252332
Application date： Feb. 26, 1999
Publication date： Sep. 14, 2000
Summary：

【要約】【課題】検査項目・検査工程およびその検査頻度は、一般的に、製品フェーズ毎に変化する。また、突発的に発生した欠陥・不良に対応するため、一時的に検査内容の変更を強いられることなどもある。このような場合に、需要量の変動に即応して、限られた保有装置台数の中で最も効果機能比率への変更を可能とする検査システムの提供を目的とする。【解決手段】上記目的を達成するために、本発明は複数台のSEMの内少なくとも一部が、寸法測定,パターン欠陥検査、及びレビューの内少なくとも2以上の機能を有する検査システムを提供する。

Claim (excerpt)：

ネットワークで接続された複数台の走査型電子顕微鏡およびその類似装置から構成され、半導体および類似デバイスの製造においてデバイスの検査に用いられる検査システムおよびその方法において、複数台の走査型電子顕微鏡およびその類似装置の内少なくともその一部が、寸法測定,パターン欠陥検査およびレビューの機能の内少なくとも二つ以上の機能を有することを特徴とする検査システムおよび方法。

IPC (4)：

H01L 21/66 ,  G01N 23/225 ,  G01N 21/88 ,  G01N 37/00

FI (4)：

H01L 21/66 J ,  G01N 23/225 ,  G01N 37/00 X ,  G01N 21/88 645 A

F-Term (64)：

2G001AA03 ,  2G001AA05 ,  2G001AA10 ,  2G001AA13 ,  2G001BA05 ,  2G001BA07 ,  2G001BA09 ,  2G001CA03 ,  2G001CA10 ,  2G001DA06 ,  2G001FA01 ,  2G001FA06 ,  2G001GA03 ,  2G001GA04 ,  2G001GA06 ,  2G001GA13 ,  2G001HA09 ,  2G001JA02 ,  2G001JA08 ,  2G001JA11 ,  2G001JA15 ,  2G001KA01 ,  2G001KA03 ,  2G001KA20 ,  2G001LA11 ,  2G001PA01 ,  2G001PA07 ,  2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051BA10 ,  2G051BA20 ,  2G051BC05 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CD03 ,  2G051DA07 ,  2G051DA09 ,  2G051EA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EA21 ,  2G051EB01 ,  2G051EB09 ,  2G051EC01 ,  4M106AA01 ,  4M106BA02 ,  4M106CA39 ,  4M106CA42 ,  4M106CA43 ,  4M106CA50 ,  4M106DB05 ,  4M106DB21 ,  4M106DB30 ,  4M106DH33 ,  4M106DJ04 ,  4M106DJ07 ,  4M106DJ15 ,  4M106DJ17 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ21 ,  4M106DJ26 ,  4M106DJ32