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J-GLOBAL ID：200903091325010267
圧力センサ
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
下田 容一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996220139
Publication number (International publication number)：1998062278
Application date： Aug. 21, 1996
Publication date： Mar. 06, 1998
Summary：
【要約】【解決手段】 圧電材26を備えた振動子20と、この振動子20を片持ち支持状態で収納するケース16と、このケース16に開けた圧力取入れ口17と、振動子20の振動を制御する制御回路40とから構成する。【効果】 振動子に交流電圧を印加して振動させ、振動子の共振周波数を測定することにより、振動子を囲む気体の圧力を測定することで、微小圧力から比較的高圧まで広範囲にわたり、ひとつの圧力センサで測定することができる。
Claim (excerpt)：
圧電材を備えた振動子と、この振動子を片持ち支持状態で収納するケースと、このケースに開けた圧力取入れ口と、前記振動子の振動を制御する制御回路とからなり、前記振動子に交流電圧を印加して振動させ、振動子の共振周波数を測定することにより、振動子を囲む気体の圧力を測定することを特徴とする圧力センサ。
IPC (2)：
FI (2)：
G01L 9/00 C
, G01L 1/10 A
