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J-GLOBAL ID：200903091431234735
検査装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴木 由充
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993151606
Publication number (International publication number)：1994167460
Application date： May. 27, 1993
Publication date： Jun. 14, 1994
Summary：
【要約】【目的】検査にかかる時間と人手を大幅に削減できる高精度の検査が可能な検査装置を提供する。【構成】検査位置に対し異なる仰角の方向にそれぞれ赤,緑,青の各色相光を発する3個の光源9,10,11が配置される。まず検査に先立ち、検査位置に教示用の基準ウエハ1Sが搬入されると、撮像部6により各色相光のウエハ1S表面での反射光が撮像される。制御処理部7は、撮像された反射光像からウエハ上の各バンプ2Sの検査領域について特徴パラメータを抽出し、判定データファイルを作成する。つぎに被検査ウエハ1Tが搬入されたとき、同様の方法でバンプ2Tの検査領域につき特徴パラメータが抽出されて被検査データファイルが作成される。この被検査データファイルは前記判定データファイルと比較され、検査結果は表示部20に所定のフォーマットで表示される。
Claim (excerpt)：
ウエハ上に形成されたバンプの品質を自動検査するための検査装置であって、異なる色彩光を発する複数の円環状の光源が検査位置から見てそれぞれ異なる仰角の方向に配置された投光手段と、前記検査位置に検査対象を位置決めする位置決め手段と、検査対象の表面からの反射光像を撮像する撮像手段と、前記撮像手段で得られた撮像パターンより検査対象のバンプの品質を判断するため、あるいはバンプの計量的パラメータを計測するための演算処理手段とを備えて成る検査装置。
IPC (3)：
G01N 21/88
, G01B 11/30
, H01L 21/66
