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J-GLOBAL ID：200903091435312617

半導体装置、液晶表示装置、半導体装置の製造方法および液晶表示装置の製造方法

Inventor： 竹口 徹 ,  久保田 健 ,  小林 正直
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社 ,  セイコーエプソン株式会社
Agent (1)： 深見 久郎 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999348649
Publication number (International publication number)：2001168190
Application date： Dec. 08, 1999
Publication date： Jun. 22, 2001
Summary：

【要約】【課題】 透明性導電層における欠陥の発生を防止することが可能な半導体装置または液晶表示装置を提供する。【解決手段】 半導体装置は基板20と導電層6bと層間絶縁膜8と透明性導電層9とを備える。導電層6bは基板20上に形成される。層間絶縁膜8は導電層6b上に形成され、導電層6b上に位置する領域に形成されたコンタクトホール10を有する。透明性導電層9は、コンタクトホール10の内部から層間絶縁膜8の上部表面15上にまで延在するように形成され、導電層6bと電気的に接続されている。層間絶縁膜8の上部表面15はウェット処理により平滑化されている。

Claim (excerpt)：

基板と、前記基板上に形成された導電層と、前記導電層上に形成され、前記導電層上に位置する領域に形成されたコンタクトホールを有する層間絶縁膜と、前記コンタクトホールの内部から前記層間絶縁膜の上部表面上にまで延在するように形成され、前記導電層と電気的に接続された透明性導電層とを備え、前記層間絶縁膜の上部表面はウエット処理により平滑化されている、半導体装置。

IPC (5)：

H01L 21/768 ,  G02F 1/1365 ,  H01L 21/28 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/336

FI (5)：

H01L 21/28 A ,  H01L 21/90 A ,  G02F 1/136 500 ,  H01L 29/78 616 K ,  H01L 29/78 619 A

F-Term (98)：

2H092JA26 ,  2H092JA29 ,  2H092JA33 ,  2H092JA35 ,  2H092JA38 ,  2H092JA42 ,  2H092JA44 ,  2H092JA46 ,  2H092JB13 ,  2H092JB23 ,  2H092JB32 ,  2H092JB33 ,  2H092JB38 ,  2H092JB51 ,  2H092JB57 ,  2H092JB63 ,  2H092JB69 ,  2H092KA05 ,  2H092KA07 ,  2H092KA12 ,  2H092KA16 ,  2H092KA18 ,  2H092KB14 ,  2H092MA05 ,  2H092MA08 ,  2H092MA14 ,  2H092MA15 ,  2H092MA16 ,  2H092MA18 ,  2H092MA19 ,  2H092MA20 ,  2H092MA27 ,  2H092MA35 ,  2H092MA37 ,  2H092MA41 ,  2H092NA22 ,  2H092NA25 ,  2H092NA27 ,  2H092NA29 ,  2H092PA07 ,  2H092QA07 ,  4M104AA10 ,  4M104BB36 ,  4M104CC01 ,  4M104DD07 ,  4M104DD17 ,  4M104DD20 ,  4M104EE17 ,  4M104EE18 ,  4M104GG09 ,  4M104HH09 ,  5F033GG04 ,  5F033HH38 ,  5F033JJ38 ,  5F033KK17 ,  5F033MM05 ,  5F033PP15 ,  5F033QQ00 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ19 ,  5F033QQ27 ,  5F033QQ37 ,  5F033QQ92 ,  5F033QQ95 ,  5F033RR06 ,  5F033RR21 ,  5F033SS15 ,  5F033SS22 ,  5F033TT04 ,  5F033VV15 ,  5F033XX14 ,  5F110AA26 ,  5F110AA30 ,  5F110CC07 ,  5F110DD02 ,  5F110EE04 ,  5F110EE44 ,  5F110FF03 ,  5F110FF30 ,  5F110GG15 ,  5F110GG25 ,  5F110GG45 ,  5F110HK04 ,  5F110HK09 ,  5F110HK16 ,  5F110HK35 ,  5F110HL07 ,  5F110HL11 ,  5F110HL23 ,  5F110HL26 ,  5F110HM17 ,  5F110HM18 ,  5F110NN04 ,  5F110NN22 ,  5F110NN24 ,  5F110NN35 ,  5F110NN36 ,  5F110NN40