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J-GLOBAL ID：200903091452632790

陰極アーク蒸着により材料を基材に付着させる装置

Inventor： サビア・ラマリンガム
Applicant, Patent owner： ユナイテッド・テクノロジーズ・コーポレイション
Agent (1)： 朝倉 勝三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998260998
Publication number (International publication number)：1999140632
Application date： Aug. 31, 1998
Publication date： May. 25, 1999
Summary：

【要約】【課題】 コスト的に有利な態様で、基材に均一の高品質コーティングを施すようにする。【解決手段】 陰極アーク蒸着により材料を基材12に付着させる装置10は、容器14と、容器14内に真空を維持する手段16と、ディスク型陰極18と、陰極18と陽極24との間で電気エネルギーのアークを持続する手段22と、陰極18の軸線方向に延びた蒸発面のまわりでアークを駆動する手段を包含する。アークを駆動する手段は、強磁性中心部片に取付けられた磁界発生器を有する。磁界発生器は、強磁性中心部片に取付けられた複数の側部磁石と、側部磁石の半径方向内方に位置された中心磁石とを包含する。側部磁石の各々は陰極を透過する磁界を生成し、磁界の各々は蒸発面に略平行に走る部分を含む。中心磁石は蒸発面に対してアーク経路の軸線方向位置に影響を及ぼす。

Claim (excerpt)：

容器と、前記容器内に真空を維持する手段と、前記容器内に位置され、第1端面と第2端面とそれらの間で軸線方向に延びる蒸発面とを有するディスク型陰極と、前記蒸発面と陽極との間で電気エネルギーのアークを選択的に持続する手段と、強磁性中心部片に取付けられた磁界発生器を有しており、前記磁界発生器が前記強磁性中心部片に取付けられた複数の側部磁石、及び前記側部磁石の半径方向内方に位置された中心磁石を包含している、アーク経路に沿って前記蒸発面のまわりで前記アークを駆動する手段とを包含し、前記側部磁石の各々が前記陰極を透過する磁界を生成し、前記磁界の各々が前記蒸発面に略平行に走る部分を含み、前記中心磁石が前記軸線方向に延びた蒸発面に対して前記アーク経路に影響を及ぼし、前記陰極と前記陽極との間で延びる前記電気エネルギーのアークが、前記容器内に配置された基材に付着する前記陰極の一部を遊離させることを特徴とする、陰極アーク蒸着により材料を基材に付着させる装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• カソードアークコータのアーク制御装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-245461   Applicant：ユナイテッドテクノロジーズコーポレイション
• 真空放電蒸着に用いる基板被覆方法およびその装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-091888   Applicant：ヴエイパーテクノロジイズ,インコーポレイテツド