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J-GLOBAL ID：200903091467612981

クライオスタット

Inventor： 小林 令 ,  金沢 克明 ,  佐藤 敏美
Applicant, Patent owner： 住友重機械工業株式会社
Agent (1)： 高橋 敬四郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992182666
Publication number (International publication number)：1994029582
Application date： Jul. 09, 1992
Publication date： Feb. 04, 1994
Summary：

【要約】【目的】 サンプル交換が容易なクライオスタットに関し、サンプル交換が容易なガス冷却型クライオスタットを提供することを目的とする。【構成】 第1サンプル導入口を有する真空容器と、前記真空容器中に配置され、前記第1サンプル導入口と対応して配置された第2サンプル導入口を有し、冷却ガスを流すことのできるサンプル室と、外部より前記真空容器を貫通して前記サンプル室に通じるサンプル導入路を形成するように、前記真空容器の第1サンプル導入口と前記サンプル室の第2サンプル導入口とを気密に接続する導入路部材と、前記第1サンプル導入口を気密に封止できるフランジを有し、サンプルを前記サンプル室内に保持することのできるサンプルヘッドと、前記サンプル室内に冷却ガスを供給、回収するためのガスラインとを有する。

Claim (excerpt)：

第1サンプル導入口を有する真空容器(1)と、前記真空容器中に配置され、前記第1サンプル導入口と対応して配置された第2サンプル導入口を有し、冷却ガスを流すことのできるサンプル室(2)と、外部より前記真空容器を貫通して前記サンプル室に通じるサンプル導入路を形成するように、前記真空容器の第1サンプル導入口と前記サンプル室の第2サンプル導入口とを気密に接続する導入路部材(3)と、前記第1サンプル導入口を気密に封止できるフランジを有し、サンプルを前記サンプル室内に保持することのできるサンプルヘッド(4)と、前記サンプル室内に冷却ガスを供給、回収するためのガスライン(6)とを有するクライオスタット。

IPC (2)：

H01L 39/04 ZAA ,  F25D 3/10