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J-GLOBAL ID:200903091481238782

半導体ガスセンサーを用いた混合ガス測定方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 平木 祐輔 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995229906
Publication number (International publication number):1997072871
Application date: Sep. 07, 1995
Publication date: Mar. 18, 1997
Summary:
【要約】【課題】 半導体ガスセンサーを用いて混合ガスの成分ガス濃度を測定することを可能とする。【解決手段】 ガス種に対する選択性を有しない市販の半導体ガスセンサー10のヒーター11に関数発生器21から周波数の異なる複数のヒーター電流を順次流し、その時の半導体ガスセンサーの出力をそれぞれ高速デジタル化フーリエ変換手段32でパワースペクトルに変換し、そのスペクトル成分をニューラルネットワーク34に入力する。パワースペクトルと雰囲気混合ガス中の成分ガス濃度の関係をニューラルネットワーク34で学習することで、混合ガスの成分ガス濃度を高精度に推定する。
Claim (excerpt):
ヒーター及び出力端子を備える半導体ガスセンサーに周波数の異なる複数のヒーター電流を流し、異なる周波数のヒーター電流を流したときに夫々出力端子から得られる複数の出力に基づいて混合ガス中の成分ガス濃度を測定することを特徴とする混合ガス測定方法。
IPC (2):
G01N 27/12 ,  G06F 15/18 550
FI (2):
G01N 27/12 B ,  G06F 15/18 550 Z

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