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J-GLOBAL ID：200903091483420278

グリッド型偏光子の製造方法

Inventor： 佐藤 恭史
Applicant, Patent owner： 京セラ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995250727
Publication number (International publication number)：1997090122
Application date： Sep. 28, 1995
Publication date： Apr. 04, 1997
Summary：

【要約】【課題】微細なピッチ、線幅の金属格子となるグリッド型偏光子とする。【解決手段】SiO2 基板1上にピッチpを1μm、線幅wを0.1μmでAu格子2を形成し、Au格子2の上方からSiO2 膜5を形成し、Au格子2の直線方向と平行な方向Aに加熱延伸する。

Claim (excerpt)：

誘電体中または誘電体表面上に金属が格子状に分布する構造のグリッド型偏光子において、2つの誘電体の間に金属を格子状に介在させて一体化させた後、上記金属格子の直線方向に全体を加熱延伸または圧延して製造されることを特徴とするグリッド型偏光子の製造方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭58-042003
  
• 特開昭58-042003