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J-GLOBAL ID：200903091486238640
位置合せ装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993189181
Publication number (International publication number)：1995130614
Application date： Jun. 30, 1993
Publication date： May. 19, 1995
Summary：
【要約】【目的】不要な反射光によって位置合せ精度が低下するのを防止できる光ヘテロダイン干渉式の位置合せ装置を提供する。【構成】マスクに設けられた回折格子17は、市松模様の格子を有した第1領域20aと光を単に透過させるだけの第2領域20bとを位置合せ方向と直交する方向に配列して構成されている。ウェハに設けられた回折格子19は第1領域20aを透過した回折光が照射されたときに射出回折光を一次元分布または二次元分布させる格子を有した第3領域21aと第2領域20bを透過した光が照射されたときに射出回折光を二次元分布させる市松模様の格子を有した第4領域21bとを位置合せ方向と直交する方向に配列して構成されている。第3領域21aの位置合せ方向およびこれに直交する方向の格子ピッチは他の領域の格子ピッチより小に設定されている。
Claim (excerpt)：
対向配置された第1の物体と第2の物体とを対向方向と直交する面内で位置合せするために、上記第1の物体と上記第2の物体とに対向関係に回折格子を設けるとともに、周波数の異なる2本の光ビームを上記第1の物体に設けられた回折格子に対して上記位置合せ方向と直交する面を境にして左右対称に照射し、この照射によって得られた回折光のうちの特定次数の回折光を位置情報として用いるようにした光ヘテロダイン干渉式の位置合せ装置において、前記第1の物体に設けられた回折格子は出射回折光を一次元分布または二次元分布させる格子を有した第1領域と光を単に透過させる部分で構成された第2領域とを位置合せ方向と直交する方向に配列して構成され、前記第2の物体に設けられた回折格子は上記第1の物体に設けられた第1領域を透過した回折光が照射されたときに射出回折光を一次元分布または二次元分布させる格子を有した第3領域と上記第1の物体に設けられた第2領域を透過した光が照射されたときに射出回折光を一次元分布または二次元分布させる格子を有した第4領域とを位置合せ方向と直交する方向に配列して構成されており、かつ上記第3領域の位置合せ方向およびこれに直交する方向の格子ピッチが他の領域の格子ピッチより小に設定されていることを特徴とする位置合せ装置。
IPC (2)：
FI (2)：
H01L 21/30 506 E
, H01L 21/30 531 J
