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J-GLOBAL ID：200903091490355643
斜め投影光学系
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
佐野 静夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997086264
Publication number (International publication number)：1998282451
Application date： Apr. 04, 1997
Publication date： Oct. 23, 1998
Summary：
【要約】【課題】高画角,高倍率で斜め投影角度が充分であり、しかもレンズ径やレンズ群の全長を短くしてコンパクト化を達成した斜め投影光学系を提供する。【解決手段】投影レンズ系を構成するレンズ群が互いに偏心して配置されており、中間実像を結像しない斜め投影光学系であって、絞りの縮小側に隣接して負レンズが配置され、その負レンズより縮小側に1つ以上の正レンズが配置され、最も縮小側にあるレンズにおいて、前後両面とも縮小側に向かって凹面であり、前記拡大側像面から射出する光線の内、その拡大側像面の法線方向に対して、より大きい角度を成す光線が、前記最も縮小側にあるレンズ媒質中の、より長い道のりを通過するように構成した斜め投影光学系において、1次像面と2次像面のなす角度の絶対値|θ<SB>i</SB> -θ<SB>o</SB> |<10 ゚を満足する構成とする。
Claim (excerpt)：
1次像を2次像に拡大或いは縮小して投影する投影レンズ系を有し、該投影レンズ系は、少なくとも2つのレンズ群より構成されていて、該レンズ群は、互いに偏心して配置されており、縮小側像面から拡大側像面まで中間実像を結像しない斜め投影光学系であって、絞りより縮小側に、該絞りに隣接して負レンズが配置され、該負レンズより縮小側に少なくとも1つ以上の正レンズが配置され、最も縮小側にあるレンズにおいて、前後両面とも縮小側に向かって凹面であり、前記レンズ群の偏心している平面内で、前記拡大側像面から射出する光線の内、該拡大側像面の法線方向に対して、より大きい角度を成す光線が、前記最も縮小側にあるレンズ媒質中の、より長い道のりを通過するように構成した斜め投影光学系において、以下の条件式範囲を満足する事を特徴とする斜め投影光学系、|θ<SB>i</SB> -θ<SB>o</SB> |<10 ゚但し、|θ<SB>i</SB> -θ<SB>o</SB> |:1次像面と2次像面のなす角度の絶対値である。
IPC (2)：
FI (2)：
G02B 27/18 Z
, G02B 13/08
