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J-GLOBAL ID：200903091491887398
静電吸着装置の保持状態確認方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994001939
Publication number (International publication number)：1995211768
Application date： Jan. 13, 1994
Publication date： Aug. 11, 1995
Summary：
【要約】【目的】静電吸着装置によってウエハの反りが矯正され、確実に固定されたか否かの確認手段となる静電吸着装置のモニタ方法を提供する。【構成】静電吸着装置の被保持物体1と電極板3によって形成される電気回路に吸着状態を示すパラメータの検出手段6を設け、検出されたデータと、あらかじめデータ収納部9内に納められているデータとを比較回路8で比較することにより吸着状態を確認する。
Claim (excerpt)：
電極板及び誘電体とを積層し、前記電極板と被保持物体間に電位差を生じさせることによって前記誘電体に前記被保持物体を吸着させる静電吸着装置において、前記誘電体と被吸着物との吸着状態を示すパラメータの検出手段と、前記被保持物体の吸着時のパラメータを装置内部にメモリするデータ収納部を設け、前記データ収納部内のデータと実際に吸着時に示すパラメータとの比較により保持状態を評価確認することを特徴とする静電吸着装置の保持状態確認方法。
IPC (3)：
H01L 21/68
, B23Q 3/15
, H02N 13/00
