X線発生装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996055138
Publication number (International publication number)：1997245992
Application date： Mar. 12, 1996
Publication date： Sep. 19, 1997
Summary：

【要約】【課題】清浄光学面への飛散粒子の付着、堆積を防止して、その結果、長時間安定して使用できるX線発生装置を提供すること。【解決手段】減圧された真空容器101内の標的部材104に励起エネルギービーム103を照射してプラズマ105を形成させ、該プラズマ105からX線107を取り出すX線発生装置において、前記X線107を取り出す範囲に相当する立体角領域に隣接または近接させて、前記標的部材104及び/または前記プラズマ105から放出される飛散粒子を阻止するための飛散粒子阻止部材108と、該飛散粒子阻止部材108よりも前記立体角領域側に位置する電極であり前記飛散粒子をイオン化及び/または静電吸着させる電極109、110とを設けたことを特徴とするX線発生装置。

Claim (excerpt)：

減圧された真空容器内の標的部材に励起エネルギービームを照射してプラズマを形成させ、該プラズマからX線を取り出すX線発生装置において、前記X線を取り出す範囲に相当する立体角領域に隣接または近接させて、前記標的部材及び/または前記プラズマから放出される飛散粒子を阻止するための飛散粒子阻止部材と、該飛散粒子阻止部材よりも前記立体角領域側に位置する電極であり前記飛散粒子をイオン化及び/または静電吸着させる電極とを設けたことを特徴とするX線発生装置。

IPC (2)：

H05G 2/00 , H05G 1/02

FI (2)：

H05G 1/00 K , H05G 1/02 J

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

X線装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-046288 Applicant：株式会社ニコン
X線発生装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-174602 Applicant：株式会社ニコン
空気調和装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-060910 Applicant：株式会社ゼクセル

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