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J-GLOBAL ID：200903091513874619

パターンを検査する検査装置の感度設定方法及び感度設定可能な検査装置

Inventor： 谷田 徹
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 井上 義雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996308602
Publication number (International publication number)：1998142771
Application date： Nov. 06, 1996
Publication date： May. 29, 1998
Summary：

【要約】【課題】 マスク検査の信頼性を損なうことなく、検査を迅速に行えるよう、検査装置の感度を適切に設定できる方法を提供する。【解決手段】 感度設定パターン4に対応する設計上の二値化データと、前記感度設定パターン4を実測して得られた二値化信号とを比較して、設計上の感度設定パターンと、前記二値化信号から再現されるパターンとの異なる程度を表す量を求め、前記量が所定値以下となるように感度を設定するので、最適な感度を短時間で設定することができる。

Claim (excerpt)：

物体上に形成されたパターンを検査する検査装置における判定の感度設定を、前記パターンとは異なる前記物体上の位置に形成した感度設定パターンを用いて行う方法において、前記感度設定パターンを二値化信号に変換するステップと、前記感度設定パターンに対応する設計上の二値化データと、前記二値化信号とを比較して、前記設計上の感度設定パターンと、前記二値化信号から再現されるパターンとの異なる程度を表す量を求めるステップと、前記量が所定値以下となるように、前記検査装置の感度を設定するステップとからなる感度設定方法。

IPC (4)：

G03F 1/08 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/66 ,  G01N 21/88

FI (4)：

G03F 1/08 S ,  H01L 21/66 J ,  G01N 21/88 E ,  H01L 21/30 502 V