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J-GLOBAL ID：200903091516138794

欠陥検出装置

Inventor： 伊藤 正洋 ,  新井 規之 ,  岩間 真治郎 ,  松田 光司
Applicant, Patent owner： 東芝エンジニアリング株式会社
Agent (1)： 大胡 典夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994051503
Publication number (International publication number)：1995260706
Application date： Mar. 23, 1994
Publication date： Oct. 13, 1995
Summary：

【要約】【目的】 光が透過する板状被検査物の凹凸や気泡を検出できる欠陥検出装置を提供すること。【構成】 所定方向に移動する樹脂シート11の面に、この面に垂直な軸に対してある角度をもつ所定の照射方向から光を照射する光照射装置14と、シートに入ってから出るまでに照射方向が偏位した光照射装置14の光を検出する光検出装置13とで構成する。

Claim (excerpt)：

光が透過する板状被検査物の面に、この面に垂直な軸に対してある角度をもつ所定の照射方向から光を照射する光照射装置と、前記被検査物を透過し、かつ前記照射方向から所定の角度方向に偏位した前記光照射装置の光を検出する光検出装置とを具備した欠陥検出装置。

IPC (2)：

G01N 21/89 ,  B65B 57/02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平2-110356
  
• 特開平4-115148
  
• 特開昭63-293448