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J-GLOBAL ID：200903091521646269

表示基板およびその製造方法

Inventor： 松尾 拓哉 ,  天野 等 ,  松下 和彦
Applicant, Patent owner： シャープ株式会社
Agent (1)： 山本 秀策
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993079905
Publication number (International publication number)：1994289427
Application date： Apr. 06, 1993
Publication date： Oct. 18, 1994
Summary：

【要約】【目的】ソース電極およびソースバスラインの保護絶縁膜形成工程が簡略化された構造を有する表示基板およびその製造方法を提供する。【構成】本発明の表示基板においては、そのソース電極およびソースバスラインを二層構造にし、かつ上層のソース電極22およびソースバスラインを陽極酸化可能な金属で形成する。この上層のソース電極22およびソースバスラインの表面および両側部を陽極酸化して酸化絶縁膜を形成し、ソース電極およびソースバスラインの保護絶縁膜24とする。

Claim (excerpt)：

透明絶縁性基板上に互いに平行に配設された複数本のゲートバスラインと、該ゲートバスラインに交差して互いに平行に配設され、陽極酸化可能な金属で形成された複数本のソースバスラインと、各ゲートバスラインとソースバスラインとが囲むそれぞれの領域に形成された絵素電極と、各領域を構成する一方のゲートバスラインから分岐したゲート電極と、各領域を構成する一方のソースバスラインから分岐し、陽極酸化可能な金属で形成されたソース電極と、各領域の絵素電極と接続されたドレイン電極とを有する逆スタガ構造の薄膜トランジスタと、該ソースバスラインおよび該ソース電極の表面に形成された酸化絶縁膜とを有する表示基板。

IPC (4)：

G02F 1/136 500 ,  G02F 1/1333 505 ,  G02F 1/1343 ,  H01L 29/784