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J-GLOBAL ID:200903091545185491
ブラックマトリックス用ポジ型レジスト組成物
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
久保山 隆 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993018611
Publication number (International publication number):1994230215
Application date: Feb. 05, 1993
Publication date: Aug. 19, 1994
Summary:
【要約】【目的】 微細度等の諸性能に優れたブラックマトリックス用ポジ型レジスト組成物を提供する。【構成】 アルカリ可溶性樹脂、キノンジアジド化合物、黒色顔料及び溶剤を含むことを特徴とするブラックマトリックス用ポジ型レジスト組成物。
Claim (excerpt):
アルカリ可溶性樹脂、キノンジアジド化合物、黒色顔料及び溶剤を含むことを特徴とするブラックマトリックス用ポジ型レジスト組成物。
IPC (4):
G02B 5/20 101
, G02F 1/1335 505
, G03F 7/023 501
, G03F 7/023 511
Patent cited by the Patent:
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