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J-GLOBAL ID：200903091582979686

液晶表示装置用レジスト剥離液

Inventor： 平山 秀雄 ,  溝内 清継
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 樺澤 襄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994192644
Publication number (International publication number)：1996062610
Application date： Aug. 16, 1994
Publication date： Mar. 08, 1996
Summary：

【要約】【目的】 アルミニウムの電蝕による腐蝕を抑制する。【構成】 アルミニウムおよび高融点金属の積層膜からなるソース電極19およびドレイン電極18上のレジスト31を剥離する液晶表示装置用レジスト剥離液である。剥離液は、アルカノールアミン(Cn H2n=1- NH3 )とグライコエーテル(R- (OCH2 CH2 )2 -OH)とを純水で希釈したものである。【効果】 剥離液により、液抵抗を増加させて分極抵抗を増大させ、アルミニウムのアノード分極曲線と高融点金属のカソード分極曲線との交点によって決定される腐蝕速度を抑制し、アルミニウムの電蝕を小さくできる。

Claim (excerpt)：

基板上に走査電極線および信号電極線をマトリクス状に形成し、これら走査電極線および信号電極線の交点にゲート電極、ゲート絶縁膜、活性層、オーミックコンタクト層、ソース電極およびドレイン電極を有する薄膜トランジスタと画素電極とを配置したアレイ基板を備え、前記ソース電極およびドレイン電極はアルミニウムおよび高融点金属の積層膜からなる液晶表示装置の前記ソース電極およびドレイン電極に設けられたレジストを剥離する液晶表示装置用レジスト剥離液において、アルカノールアミン(Cn H2n=1- NH3 )とグライコエーテル(R- (OCH2 CH2 )2 -OH)とを純水で希釈したものであることを特徴とした液晶表示装置用レジスト剥離液。

IPC (3)：

G02F 1/1343 ,  G03F 7/42 ,  H01L 21/027