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J-GLOBAL ID：200903091601961050

検出装置

Inventor： 白石 輝昭 ,  大塚 博実 ,  只隈 伸二
Applicant, Patent owner： 東京エレクトロン株式会社 ,  東京エレクトロン九州株式会社
Agent (1)： 金本 哲男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993317429
Publication number (International publication number)：1995147316
Application date： Nov. 22, 1993
Publication date： Jun. 06, 1995
Summary：

【要約】【目的】 収納体内に収納される被処理基板の整列状態を検出する。【構成】 底部に開口部48を有し、複数のウエハWを整列状態で内部に収納するキャリアCの下方に、発光管47を設ける。キャリアCの上方に半透明の投影板51を設け、投影板51の上方には撮像装置52を設ける。発光管47からの発光によって、キャリアC内のウエハWの影が投影板51に投影されるので、ウエハWにジャンプスロットがあった場合、それに対応した影が撮像される。コントラストの強い画像がえられるので、二値価処理が容易で正確な検出が行える。

Claim (excerpt)：

底部に開口部を有しかつ少なくとも1枚の被処理基板を所定の垂直状態で内部に収納する如く構成された収納体における、前記被処理基板の収納状態を検出するための装置であって、前記収納体の上方に半透明の投影板を設けると共に、さらにこの投影板の上方には該投影板上の像を撮像する撮像装置を設け、前記収納体内の被処理基板に向けて発光する発光装置を、前記開口部の下方に設けたことを特徴とする、検出装置。