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J-GLOBAL ID：200903091602578101

磁気センサ

Inventor： 宮越 俊彦 ,  田口 禎 ,  米田 立美
Applicant, Patent owner： 株式会社三協精機製作所
Agent (1)： 樺山 亨 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991190061
Publication number (International publication number)：1993037041
Application date： Jul. 30, 1991
Publication date： Feb. 12, 1993
Summary：

【要約】【目的】センサ特性を悪化することなくセンサ面の平坦化及びセンサの小型化を容易に図ることができる磁気センサを提供する。【構成】本発明の磁気センサは、絶縁基板11と、この絶縁基板11上に形成されたポリイミド膜13と、該ポリイミド膜13上に形成された磁気検知部14と、上記磁気検知部14に接続される上記絶縁基板上に形成された電極15とを備えてなることを特徴とする。【効果】ポリイミド膜を形成することにより、セラミック等の絶縁基板の表面粗度をガラス基板並に平滑化できるので、センサ特性が従来のガラス基板を用いた場合と同程度の磁気センサを構成でき、且つセンサ面の平坦化及びセンサの小型化を容易に図ることができる。

Claim (excerpt)：

絶縁基板と、この絶縁基板上に形成されたポリイミド膜と、該ポリイミド膜上に形成された磁気検知部と、上記磁気検知部に接続される上記絶縁基板上に形成された電極とを備えてなることを特徴とする磁気センサ。

IPC (4)：

H01L 43/06 ,  G01R 33/06 ,  H01L 23/15 ,  H01L 43/08