Pat

J-GLOBAL ID：200903091620154530

焦点検出装置

Inventor： 岩崎 豊
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997302276
Publication number (International publication number)：1999142716
Application date： Nov. 04, 1997
Publication date： May. 28, 1999
Summary：

【要約】 (修正有)【解決手段】焦点検出用光源9と、光束を被検物体5面上に集光させるための焦点検出用光学系4,10と、被検物体5で反射された光束を2つの光束に分割するビームスプリッタ14と、分割された光束をそれぞれ受光する第1及び第2の光検出器19,20とを備え、第1の光検出器20は被検物体で反射された焦点検出用光源からの光束の収束点よりも被検物体5から離間した位置に配置され、第2の光検出器19は被検物体5で反射された焦点検出用光源9からの光束の収束点よりも被検物体に近接した位置に配置されている。第1と第2の光検出器19,20は2次元受光素子である。【効果】被検物体からの反射戻り光と光検出器とを機械的或いは光学的にアライメントしなくてすむため、負担が軽減される。

Claim (excerpt)：

焦点検出用光源と、前記焦点検出用光源から出射された光束を被検物体面上に集光させるための焦点検出用光学系と、前記被検物体で反射された前記焦点検出用光源からの光束を2つの光束に分割するビームスプリッタと、該ビームスプリッタで分割された光束をそれぞれ受光する第1及び第2の光検出器とを備え、前記第1の光検出器は前記被検物体で反射された前記焦点検出用光源からの光束の収束点よりも前記被検物体から離間した位置に配置され、前記第2の光検出器は前記被検物体で反射された前記焦点検出用光源からの光束の収束点よりも前記被検物体に近接した位置に配置されており、前記第1と第2の光検出器が2次元受光素子である事を特徴とする焦点検出装置。

IPC (4)：

G02B 7/28 ,  G01M 11/00 ,  G02B 21/26 ,  G03B 13/36

FI (4)：

G02B 7/11 J ,  G01M 11/00 Z ,  G02B 21/26 ,  G03B 3/00 A