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J-GLOBAL ID：200903091626611630

6自由度剛体振動系のモデリング方法およびその装置

Inventor： 間山 武彦
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 伊東 哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994139560
Publication number (International publication number)：1995325628
Application date： May. 31, 1994
Publication date： Dec. 12, 1995
Summary：

【要約】【目的】 防振支持機構と、それらによって支持された剛体質量からなる6自由度剛体振動系の運動モデルのモデリングを、力学的な原理に基づき、大きな演算負荷をかけることなく行なう方法、および、装置を提供する。【構成】 振動系の周波数特性に基づき、回転モードの共振特性に着目して振動系の回転中心の位置を推定し、回転中心の位置での振動から各並進方向のばね定数、ダンパ減衰係数等の特性を同定し、回転中心の位置、防振支持機構の配置、同定したパラメータ等を、振動系の運動方程式に適用することにより、6自由度剛体振動系の力学的特性を表すモデルを構築する。【効果】 振動系の基本的な力学的原理に基づいてモデリングを行なうため、振動系における力学現象の把握が容易で、かつ、大きな演算負荷をかけることなく、6自由度剛体振動系のモデリングを行なうことができる。

Claim (excerpt)：

剛体質量と、前記剛体質量を防振支持する支持機構とからなり、並進3自由度および回転3自由度の運動モードを有する6自由度剛体振動系の特性を同定してその6自由度剛体振動系のモデリングを行う方法であって、ばね、ダンパ、質量等の力学的要素を用いた前記6自由度剛体振動系の力学モデルに基づいて、前記6自由度剛体振動系の運動方程式を導出し、前記6自由度剛体振動系の加振を行ない、前記加振の方向と直交する方向に変化させた複数位置において、前記加振の方向と同方向の振動を検出して、前記加振方向と前記直交方向とに直交する軸のまわりの回転振動が最も検出されにくい点を前記6自由度剛体振動系の回転中心の位置とし、直交する3方向についてそれぞれ、加振方向に直交する方向の振動を減衰させた状態で並進力による加振を前記6自由度剛体振動系に対し行なって前記回転中心位置あるいはその近傍における前記6自由度剛体振動系の振動を検出し、その検出結果に基づいて前記6自由度剛体振動系の前記3方向の各並進モードにおける前記力学的要素の特性を同定することを特徴とする6自由度剛体振動系のモデリング方法。

IPC (4)：

G05D 19/02 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68 ,  F16F 15/04