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J-GLOBAL ID：200903091629307061
ガスレーザ装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992013061
Publication number (International publication number)：1993206552
Application date： Jan. 28, 1992
Publication date： Aug. 13, 1993
Summary：
【要約】【目的】この発明は、パルス繰り返し数を増大させる場合に、ガスレーザ媒質の速度を高速化することなく、安定したレーザ出力を得ることができるガスレーザ装置を提供することにある。【構成】放電チャンバ1内においてガスレーザ媒質を陰極2と陽極3からなる主電極の間の放電空間部を通して循環させる送風機4と、送風機4の吐出側と主電極との間に主電極の側方に沿って設けられ主電極に点弧される主放電に先立って放電空間部を予備電離するピン電極8、9とを具備し、主放電領域の幅寸法をL1 、ピン電極の軸心から主放電領域の境界までの距離をL2 、ガスレーザ媒質の流速をV、主放電のパルス繰り返し周期をTとしたとき、L2 >L1 で、(L2/T)>V>{(L1 +L2 )/2T}に設定したことを特徴とする。
Claim (excerpt)：
ガスレーザ媒質が封入された放電チャンバと、この放電チャンバ内に対向して配置されこれらの間で発生する主放電によって上記ガスレーザ媒質を励起する陰極と陽極とからなる主電極と、上記ガスレーザ媒質を上記陰極と陽極との間の放電空間部を通して循環させる循環手段と、この循環手段の吐出側と上記主電極との間に上記主電極の側方に沿って設けられ上記主電極に点弧される主放電に先立って上記放電空間部を予備電離するピン電極とを具備し、上記主放電領域の幅寸法をL1 、上記ピン電極の軸心から上記主放電領域の境界までの距離をL2 、上記ガスレーザ媒質の流速をV、主放電のパルス繰り返し周期をTとしたとき、L2 >L1 に設定するとともに、(L2 /)T>V>{(L1 +L2 )/2T}に設定したことを特徴とするガスレーザ装置。
IPC (2)：
FI (2)：
H01S 3/097 E
, H01S 3/03 D
Cited by examiner (8)
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